(為什么無塵車間/潔凈室一定要用除濕機加濕機)
近年,在我們的各行業(yè)里都對空氣的相對濕度有嚴格的規(guī)定,使我們必需在無塵車間配置除濕機、加濕機。但是為什么值得花費這么多錢用在無塵車間、潔凈室中控制相對濕度呢?道理很簡單!讓我們先來了解下什么叫無塵車間:
無塵車間指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
因為相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括:
1、細菌生長;
2、工作人員感到室溫舒適的范圍;
3、出現(xiàn)靜電荷;
4、金屬腐蝕;
5、水汽冷凝;
6、光刻的退化;
7、吸水性。
細菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時,可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚破裂,呼吸道不適以及情感上的不快。
安詩曼電器針對無塵車間/潔凈室的濕度處理方面有著豐富的經(jīng)驗及方法,可以給可以提供完美的解決方案及設(shè)備,滿足客戶對濕度的要求。讓我們優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和真誠服務(wù)助您企業(yè)發(fā)展一臂之力!